10年迭代缩短为3年:ASML EUV光刻机大跃进 据semiwiki日前的报道,截至2022年第一季度,ASML已出货136个EUV系统,约曝光7000万个晶圆已曝光。台积电在早前的技术大会上则表示,在全球 2022-06-28